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CN103367316B - 通过金属通孔槽减少ocd测量噪声

在IC制造期间，可以进行光学临界尺寸(OCD)测量。OCD测量可能涉及将光束投射到晶圆上并且基于反射光进行测量。例如，在双镶嵌工艺中，在形成金属沟槽并且对其进行抛光 ...

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