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高深寬比微結構之創新性具高信噪比光學關鍵尺寸量測技術

本研究基於整合光譜反射法(Spectral reflectometry)與散射量測法(Scatterometry). 兩種光學關鍵尺寸量測方法(Optical critical dimension (OCD) metrology),發展出一. 種 ...

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