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晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程

... 量測電晶體尺寸，且隨著製程線寬越來越細，OCD 技術也不斷與時俱進，在量測敏感度、精準度方面屢有突破。但由於現在的電晶體結構已朝 3D 發展，OCD ...

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