... 金屬參雜的二氧化鋯的化學組成(包括O/Zr比例、Zr-O及Zr-OH的含量以及Zr物種變化)與 ... 薄膜表面及內部氫氧基的減少、低價數鋯物種的產生以及低於化學劑量比的O/Zr ...
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