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什么是EUV光刻机？为什么大家都在追求它？ - 大大通

而激光器负责光源产生，而光源对制程工艺是决定性影响的， 随着半导体工业节点的不断提升，光刻机缩激光波长也在不断的缩小，从436nm、365nm的近紫外（NUV ...

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