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非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展 - 物理学报

射流等离子体和介质阻挡放电等; NTP 材料表面处理及功能化工艺包括等离子体表面接枝和聚合、等离子. 体增强化学气相沉积和等离子体辅助原子层沉积、等离子体增强反应刻 ...

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