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TYG-2000/T1步进投影光刻机

TYG-2000/T1步进投影光刻机. 曝光场面积：10mm×10mm. 分辨力：1μm；. 照明不均匀性：±2%. 物镜倍率：5倍(缩小). 光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线）.

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