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FPD 專用大型光罩之技術動向－

面板生產線的大型雷射光罩圖形描繪機Prexision-10，預計將於2008. 表1 TFT-LCD 面板生產線和光罩 ... 近階式(Proximity)(NSK、DECO) ... 因此，設計㆖㈩分依賴曝光機。

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