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深次微米矽製程技術 - 第 407 頁 - Google 圖書結果

... 19-31 微影及測試及機械的爐監督「粒子監督」樣品 19 ~ 31 NS NS 1.5 1.5 NS ... 翹曲( um )粒子個/晶圓尺寸以微米為單位 NS 25 25 NS 50 < 100 < 100 < 100 NS ...

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