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nova量測原理
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量测设备行业研究报告:细致检测攻坚克难,精准度量引领进步
椭圆偏振测量方式更为精确,其主要原理是:光源发出的光以一定角度入射晶圆片表面,被薄膜层和衬底层反射的光,经过光学系统和检偏器,最终由质谱仪接收。
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