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挑战EUV光刻？NIL靠谱吗！ - 电子工程专辑

芯片制造离不开光刻机，且制程越先进，其重要性越凸出，占芯片制造总成本比例也越高，总体来看，光刻机的成本占总设备成本的30%。当制程发展到7nm后， ...

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