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RCA clean 製程 - 弘塑科技股份有限公司

一般的APM製程是以NH4OH:H2O2:H2O=0.05~1:1:5的體積比在70℃下進行，由於氨水的沸點較低且APM步驟容易造成表面微粗糙的現象，因此氨水(NH4OH)與雙氧水(H2O2)濃度比例的 ...

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