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行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 - 國立交通 ...

一、中文摘要. 本計劃研究以複晶矽薄膜經過化學機. 械研磨過後使用不同清潔溶液清洗，稀釋. 氨水(NH4OH) 加入表面清潔劑. TMAH(Tetramethyl-ammonium Hydroxide).

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