易燃性氣體:SiH4 、B2 H6 、PH3 、SiH2 Cl2 、NH3 、CH4 、CO 腐蝕性氣體:Cl2 、F2 、HCl 、HBr 、WF6 、NH3 、 NF3 、BCl3 、SiF4 、AsH3 、ClF3 、N2 O ...
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