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科技部工程司110年度「智慧微塵感測器技術研發專案計畫 ...

二、氣體感測器所偵測之氣體包含：(1)AQI氣體，如：CO、NO2、SO2、O3，(2)半導體製程場域(包含製程場域、辦公區、外部環境)之氣體，如：NH3、H2S、CO、CO2 ...

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