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東海大學環境科學研究所碩士論文積體電路晶圓製造工業水資源 ...

及NF3. (2) 產生揮發性氣體：SiF4. (3) 反應機制：與SiO2 類似，使用NF3 有較佳的效果。 3. 含有矽化金屬Silicide 及多晶矽Polysilicon 層(Polycide)的蝕.

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