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三氟化氮气体的制备及纯化方法综述 - 中国地质图书馆

英文 篇名：Preparation and Purification of Nitrogen Trifluoride ... 三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。

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