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以電漿輔助化學氣相沉積法製備石墨烯及其特性研究

關鍵字: plasma enhanced chemical vapor deposition;電漿輔助化學氣相沉積法 ... [37] Xuesong Li,1 Weiwei Cai,1 Jinho An,1 Seyoung Kim,2 Junghyo Nah,2 Dongxing ...

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