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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 能源資訊平台

... 微影的解析度極限；λ表示在真空中光的波長；NA代表成像系統的數值孔徑(Numerical ... 影技術(OPL)，使用DUV波段的曝光波長(波長=193 nm)、NA接近0.95的高數值孔徑 ...

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