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na光學
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光学系统偏振像差理论研究获进展—论文 - 新闻
目前,偏振光照明和高数值孔径(NA)光刻是提高分辨率的有效手段。当NA增大到一定程度(0.95)时,光在像面的入射角相应地增大,偏振状态对干涉成像的 ...
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