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ALTA® 4700DP 光罩寫入機

ALTA 4700DP 系統具備符合成本效益圖案化的二元光罩和相位移光罩(PSM)，可支援快速週轉時間並縮短設計週期。高NA 光學和DUV 雷射能以高解析度和嚴密的線寬控制， ...

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