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現在是擴展EUV技術藍圖的時候了！ - 電子工程專輯

隨著極紫外光微影(EUVL)將在今年大量使用，以及高數值孔徑(NA)版本的 ... 在短於13.5nm波長的光源和光學元件，這些將在不久的未來實現EUV微影技術。

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