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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 能源資訊平台

其中R代表光學微影的解析度極限；λ表示在真空中光的波長；NA代表成像系統的數值孔徑(Numerical Aperture)；k1為包含製程相關因子的係數。爾後隨製程線寬不斷微縮，光源波長 ...

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