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na光學
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數值孔徑為0.65 之角度偏向顯微鏡之研發
個光學量測系統而言,系統靈敏度與系統解析度是一個重要的參數,系統靈敏度是指微小位移對應的. 相位差改變值,表二為各種NA 數值之靈敏度;系統解析度是指系統中能 ...
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