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科普:MOM,MIM和MOS电容有何区别?-电子发烧友网
MIM电容的缺点:在65nm工艺下,即便用上9层金属和Poly去构建MIM,其单位面积电容也只有(1.4fF/微米平方),而寄生电容Cp可以达到总电容的10%。 MOS.
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