氧气/含氟混合蚀刻气体是用来蚀刻Mo/AlNd或MoW/AlNd或MoW/Al双层金属的上层Mo ... 3.如权利要求1所述的液晶显示面板前段阵列制造工艺中的第一道黄光暨蚀刻方法,其特征 ...
確定! 回上一頁