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導電式原子力顯微鏡在IC 製程及故障分析之應用

二、實驗步驟. 1. AFM 的原理. 原子力顯微鏡主要是由懸臂(cantilever) ... fail)，並且工廠的製程檢驗參數顯示接觸點的阻值 ... 形態或路徑(哪個電晶體(MOS) 在漏電)。

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