以單一步驟製作一體成型金氧半閘堆疊結構及其元件之方法i-MOSFET: A novel ... 該氮化矽層接觸的矽鍺合金層的奈米柱結構;最後,對該奈米柱結構進行一熱氧化製程,令該 ...
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