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mosfet製程步驟
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https://www.tsri.org.tw/CommonUtilServlet?type=2.84&file=devicesd1s1a1CFd1s1a1C5_B.pdf
最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)
因此,要如何清洗晶圓,以期超潔淨度之需求,是目前ULSI 製程中,非常. 重要的步驟之 ... 當塵粒存於MOSFET 的絕緣氧化層中時,會造成元件的耐壓性不佳而影響元件長期.
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