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絕緣層上矽分析及應用

一般而言，絕緣層上覆矽金氧半元件（SOI MOS）製程技術和傳統一般金氧半元件（Bulk MOS）沒 ... 由退火及磨平的步驟產生平滑清潔無雜質的BESOI 晶圓表面。

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