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几种常见的沟槽结构SiC MOSFET类型 - 电子创新元件网

SiC MOSFET沟槽结构将栅极埋入基体中形成垂直沟道，尽管其工艺复杂，单元一致性比平面结构差。但是，沟槽结构可以增加单元密度，没有JFET效应，寄生 ...

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