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微光顯微鏡(EMMI) - iST宜特

EMMI可廣泛應用於偵測各種元件缺陷所產生的漏電流，包括閘極氧化層缺陷(Gate ... Spot 或找亮點)位置，進而得知缺陷原因，幫助後續進一步的故障分析。

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