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关于中微半导体MOCVD良品率提升的研究
缺点 :一方面,在理论上由于其能带结构的关系,其中载流子的有效质量较大, ... 有机物化学气相沉积方法(MOCVD),MOCVD设备自动化程度高、价格昂贵、 ...
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