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化合物半導體功率元件之產業專利分析 - 經濟部智慧財產局
因為技術上相對純熟,還能製作高頻的元件,但缺點是不耐高電壓;. 而近期的第三代半導體碳化 ... 機金屬化學氣相沉積(two-flow MOCVD)」的磊晶技術,成功長出高.
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