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强芯之梦013 - 雪球
目前化合物半导体生产用的磊晶制程技术大致可分成MOCVD(有机金属气相沉积 ... 若以量产速率分析MOCVD和MBE磊晶设备的优缺点,MOCVD为气相方式导入 ...
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