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微波等离子CVD 可以生产出高质量的AlN - 化合物半导体
微波等离子体CVD 的一个优点是,与MOCVD 和主流MBE 不同,它不使用氨作为氮源。氨有许多缺点:有毒和腐蚀性;对环境和设备室有害;它会与前体发生预 ...
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