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什么是MOCVD? - 上海赫哲真空设备有限公司 - 真空泵维修
MOCVD 是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底 ... MOCVD的主要缺点大部分均与其所采用的反应源有关。
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