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有機金屬氣相磊晶系統及技術簡介
本文以深入淺出之方式,介紹有機金屬氣相磊晶(MOVPE) 系統之構造及其基本原理。自 ... 缺點。 圖6. 依照氣流與載晶器平面方向不. 同而歸類的三種類型的反應腔.
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