MOCVD. (光電薄膜沈積). 台灣師範大學機電科技學系. C. R. Yang, NTNU MT. -4-. Sputtering. TiN, TiW ... PVD的缺點︰. ▫ 階梯覆蓋(Step coverage)能力較差(CVD>濺 ...
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