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MOCVD技術:引言,技術特點,優缺點,套用 - 中文百科全書
優缺點. mocvd技術在薄膜晶體生長中具有獨特優勢: 1、能在較低的溫度下製備高純度的薄膜材料,減少了材料的熱缺陷和本徵雜質含量; 2、能達到原子級精度控制薄膜的 ...
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