製造LED,是在藍晶基板上將GaAs,GaP,GaN等薄膜生成的外延片不可缺少的。 GaAs、GaP、GaN主要是以MOCVD鍍膜為主。 高旋轉,高真空,氯化物,有機金屬等活性氣體( ...
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