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全國唯一MOCVD系統整合中心中大開發磊晶機台系統關鍵技術
金屬有機物化學氣相沉積法(MOCVD)將金屬氣體化進行化學反應,生成高品質的Ⅲ-Ⅴ或是Ⅱ-Ⅵ族材料,產生的晶圓不僅可做為LED晶片,也可做為高功率元件材料 ...
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