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氮化硅在集成电路铜互连中的应用研究和改善

本论文通过基于等离子体化学气相沉积的原理,结合实际应用中的情况,对氮化硅沉积工艺 ... 通过研究MIM电容失效的可能原因,设计了相应的氮化硅沉积和铜金属晶丘改善实验, ...

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