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氮化硅在集成電路銅互連中的應用研究和改善 - 中國知網

本論文通過基于等離子體化學氣相沉積的原理,結合實際應用中的情況,對氮化硅沉積工藝中銅的去 ... 【Key words】 Damascene Plasma； PECVD SIN Barrier； ayer； MIM ...

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