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应用于射频的集成无源器件硅基转接板技术

该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV 等集成在适用于微波应用的高阻硅 ... 金属层、铜互联阵列及MIM电容层的放大图，展示出高精度的硅基加工工艺。

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