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先进半导体器件与材料特性分析系统–4200-SCS的最新技术进展

C-V测试单元的原理. 1. 在被测样品上加直流及交流电压 ... 电容：在金属-绝缘-金属（MIM）电容器上进行C-V扫描和C-f扫描，并计算出标准偏差；.

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