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(12)发明专利申请

述SiH 和NH, 在所述反应腔中发生化学反应所生成的氮化硅沉积在所述MIM 电容的下电极 ... 使本领域普通技术人员能够最佳地理解本发明的原理,其不一定按比例绘制。

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