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鉻緩衝層厚度在鈦酸鍶鋇薄膜之介電性質及機械應力之研究

圖3-1 MIM 電容元件架構. ... 電薄膜作為閘極氧化層及MIM 電容的介電層。本研究主要是 ... 鏡工作原理為電子槍外加0.5～30KV 的加速電壓使電子槍產生電子束，經.

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