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带MIM电容金属层光刻工艺的优化--《集成电路应用》 - 中国知网

MIM电容 金属互连光刻. ... 【作者单位】： 上海华虹宏力半导体制造有限公司; ... 一般地,在后道互连金属为铝制程工艺中,顶层金属可以是氮化钛Ti N,绝缘层为氮化硅Si N, ...

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