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國立臺灣大學工學院材料科學與工程學系暨研究所碩士論文

圖2-1 Purge Time 調整ALD 製程示意圖. ... 圖4-8 負電容MIM 製程步驟示意圖. ... 極(gate)端施加一電壓Vg 時，半導體會產生相反電荷，補償閘極端，若此時暫不.

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